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半導体工場のすべて

菊池正典

半導体工場のことが非常にわかりやすく説明されています。実際のプロセスだけでなく、それをとりまく周囲のことについても詳しく書かれており、初心者でも半導体の作製工程を学ぶことができます。 (ダイヤモンド社)

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