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「薄膜」のキホン

麻蒔立男

原子の厚さの膜を何層も重ねる「薄膜」。物質に薄膜を付けることで、美しさが増したり、電気を通したり、光を反射したりといろいろな機能が付加される。とりわけディスプレイやトランジスタは、半導体、金属、絶縁体の薄膜からできており、薄膜技術はなくてはならない技術だ。その膜の作り方から性質までがわかりやすく記載されている。 (Si新書)

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デバイス関連化学
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