さまざまな段階からなる半導体の研究

半導体の研究は、半導体の設計の研究、半導体を作るプロセスの研究、半導体デバイスの特性の向上をめざした研究などがあり、私が行っているのはプロセスの研究です。今は主に酸化ガリウムや窒化ガリウムなどの化合物半導体のプロセスを研究しています。

２つ以上の元素でできた化合物半導体

２つ以上の元素で構成されている化合物の半導体は、１つの元素で構成されるシリコンとは異なり、素子を作製する際には格段にプロセスの難易度が上がります。その過程では、予想もしなかった驚きの現象や結果に出会うこともしばしばで、その問題を一つひとつ解決しながら研究を行います。

特に、「エッチング」と呼ばれる技術を用いてパターンを形成させるプロセスの研究を行い、化合物半導体の信頼性を向上させることに日々尽力しています。

同じガリウム系でも異なる結果が

化合物半導体の研究を始めた当初は、シリコンなどの単一の元素からなる材料とは全く異なる研究結果に出会い、非常に驚いたことを今でも鮮明に覚えています。

同じガリウム系の半導体材料であれば、プロセス後の結果も似たようなものが得られるかもしれないと思い、酸化ガリウムの研究にも着手するようになりました。しかし、酸化ガリウムではまた全く異なる結果が得られ、化合物半導体の面白さに夢中になりました。日々トライ＆エラーの連続ですが、化合物半導体のプロセス研究はとても面白いです。